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MEMS

作者:管理员    发布于:2013-03-15 03:32:56    文字:【】【】【
摘要:MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。 MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。 常见的MEMS分析软件包括:FLOW-3D、Comsol等
分析内容

MEMS的计算机模拟分析涉及:微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学方面的分析。

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